第108章 光刻机 (第2/3页)
缝里还残留着洗不掉的油污,但操作起精密仪器来稳如磐石。他指着示波器上跳动的绿色波形,眉头皱成了深深的"川"字,额头上渗出细密的汗珠。
陈樾凑近观察,趁机让系统扫描了整个工艺流程。氧化炉的温度显示有些偏差,扩散工序的时间控制也不够精确,但这些都难不倒这些在艰苦条件下坚持研发的工人们。当最后一片成品从镀膜机里缓缓送出时,王师傅突然红了眼眶,用布满老茧的手背抹了抹眼睛:"三年前我们试制第一批管子,成品率还不到5%,现在能到65%了..."
窗外的广播正播放着《咱们工人有力量》,激昂的歌声穿过结霜的玻璃窗,变得有些模糊不清。陈樾注意到王师傅的工作台下压着张泛黄的全家福,照片上的年轻人穿着崭新的工装,胸前别着大红花,笑容灿烂如朝阳。
3月3日傍晚,一个印着外文字母的木箱通过特殊渠道运抵上沪港三号码头。海关的封条上还沾着海水的咸腥味,开箱时,陈樾闻到了熟悉的防锈油味道——是正宗的DSW4800光刻机,虽然已经是五年前的旧型号,但对现在的夏国来说依然是宝贝。
"乖乖,这得花多少外汇啊..."港口老装卸工李师傅咂着嘴,粗糙的手指在木箱上小心翼翼地摩挲,生怕刮花了漆面。他的解放鞋鞋底已经磨平,在潮湿的水泥地面上留下淡淡的水痕,裤腿上还沾着码头特有的铁锈和煤灰。
陈樾亲自检查了设备。这台二手光刻机保养得很好,控制面板上的英文标签有些发黄,但每个按键都擦得锃亮,显然原使用者很爱惜。他注意到运输过程中有个镜头支架松动了,便借口调整设备水平,让系统完成了全面扫描。扫描光幕下,这台机器的每个螺丝、每根导线都无所遁形,全部转化为数字模型存入知识库。
"精度15微米,比我们现有的强十倍不止。"随行的年轻工程师小刘兴奋地说,眼镜片后的眼睛亮得像星星。他的笔记本上密密麻麻记满了参数,字迹工整得像印刷体,页边还画着几个简易的机械结构示意图。
3月5日,元件五厂的小会议室里烟雾缭绕。二十多名工程师挤在狭小的空间里,有人甚至坐在窗台上,膝盖上摊开着笔记本。陈樾在黑板上画着复杂的光路图,粉笔灰落在他的黑皮鞋上,积了薄薄一层。汗水浸透了中山装的后背,在暖气不足的房间里冒着淡淡的白气。
"毛熊的光刻机用的是汞灯光源,鹰酱这台是激光的..."陈樾边说边擦汗,袖口已经沾满了粉笔灰。角落里,两个老工程师为了一个光学参数争得面红耳赤,茶杯都被碰翻了,褐色的茶渍在图纸上晕开,像一幅抽象的水墨画。
会议一直开到深夜,食堂送来的肉包子已经凉了,表皮变得硬邦邦的。但没人离开,有个戴眼镜的女技术员甚至趴在图纸上睡着了,手里还攥着半块没吃完的馒头,眼镜歪在一边,镜片上沾着指纹。
5月15日凌晨,第一台国产光刻机终于组装完成。实验室里挤满了人,有个身材瘦小的技术
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